中科院RFG射频电源与SP自动匹配器
2013-11-21 20:03  浏览:33
价格:未填
发货:3天内
发送询价


销售热线:18500193075(秦威)
固定电话: 010-82995634(秦威)
E-MAIL: qinwei@ime.ac.cn
QQ: 2350573414
传真: 010-84025539
地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
作为中科院微电子所(www.rf-power.net)最新一代晶体管射频电源(RFG系列):
1.控制方式更灵活:全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.最低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能,可同步多台电源并克服之间的相互干扰
中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标:
    1、自动快速调节匹配网络
    2、实时显示入射功率及反射功率变化,   指示精度 3%
    3、显示自偏压
    4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征
    5、采用真空电容调节(1KW以上)
    6、具有自动控制和手动控制两种模式
    7、电压输入: 220v
    8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用
    9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性

中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得"六五"攻关荣誉证书以及"FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究"项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。

射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。
 

联系方式
公司:中国科学院微电子研究所 (未注册)
姓名:秦威
电话:18500193075
地区:默认地区
地址:北京市朝阳区北土城西路三号
邮件:rfpower888@163.com
建材之家小程序码

建材之家小程序

建材之家服务号

微信公众服务号

建材新媒体

建材新媒体

更多»您可能感兴趣的灯具产品:
更多»有关 的产品:
易博仕铝方通吊顶木纹铝方通厂家直销

易博仕铝方通吊顶木纹铝方通厂家直销

价格:7.50/米

易博仕勾搭式垂帘铝挂片吊顶天花

易博仕勾搭式垂帘铝挂片吊顶天花

价格:8.50/米

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

价格:198.00/平方米

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

价格:198.00/平方米

易博仕铝天花吊顶明架跌级铝扣板600*600厂家直销

易博仕铝天花吊顶明架跌级铝扣板600*600厂家直销

价格:38.00/平方米

供应易博仕c型铝条扣 防风铝条扣天花厂家直销

供应易博仕c型铝条扣 防风铝条扣天花厂家直销

价格:38.00/平方米

易博仕铝方通吊顶木纹铝方通厂家直销

易博仕铝方通吊顶木纹铝方通厂家直销

价格:7.50/米

易博仕勾搭式垂帘铝挂片吊顶天花

易博仕勾搭式垂帘铝挂片吊顶天花

价格:8.50/米

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

价格:198.00/平方米

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

供应易博仕氟碳铝单板幕墙铝单板厂家直销

价格:198.00/平方米

易博仕铝天花吊顶明架跌级铝扣板600*600厂家直销

易博仕铝天花吊顶明架跌级铝扣板600*600厂家直销

价格:38.00/平方米

供应易博仕c型铝条扣 防风铝条扣天花厂家直销

供应易博仕c型铝条扣 防风铝条扣天花厂家直销

价格:38.00/平方米

移动社区 建材风水 木板之家 电工之家 壁纸之家 净化之家 安防之家 水暖之家 洁具之家 窗帘头条 家饰之窗 老姚之家 灯饰之家 电气之家 全景头条 陶瓷之家 照明之家 防水之家 防盗之家 博一建材 区快洞察 建材 郑州建材 周口建材 信阳建材 商丘建材 南阳建材 漯河建材 许昌建材 濮阳建材 焦作建材 新乡建材 鹤壁建材 安阳建材 洛阳建材 开封建材 武汉建材 天门建材 企业之家 驻马店建材 三门峡建材 平顶山建材 神农架建材 建材之家 720全景
(c)2015-2017 BO-YI.COM SYSTEM All Rights Reserved